光氧等离子净化一体机综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行净化处理。

等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，采用脉冲高频高压等离子体电源，利用双介质齿板放电北装置，以放电形式产生等离子体，在毫秒级的时间内，把空气和废气分子击穿，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度各种活性自由基、电子、离子、臭氧、原子氧、生态氧等，在纳秒级的时间内，瞬间对废气和臭氧分子进行氧化还原反应；活性自由基可以破坏各种病毒、蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能废气分子异味气体分解可还原为低分子物质；另外，借助等离子体中的离子与物体的聚合吸附作用，可以对小至亚微米级的细微废气颗粒物进行吸附沉降处理。